サムスンが液体フッ化水素を再利用する技術を開発、「日本依存」解消に期待の声

Record China    2021年2月16日(火) 22時20分

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15日、韓国・マネートゥデイは、サムスン電子が半導体洗浄に使用される液体フッ化水素を再利用するシステムを開発し、テスト運営に入ったと伝えた。写真はサムスンのロゴ。

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